利用电子、光子、离子、原子、强电场、热能等与固体表面的相互作用，测量从表面散射或发射的电子、光子、离子、原子、分子的能谱、光谱、质谱、空间分布或衍射图像，表征材料表面微观形貌、表面粗糙度、表面微区成分、表面组织结构、表面相结构、表面镀层结构及成分等相关参数。
检测范围
材料、电子、汽车、航空、机械加工、半导体制造、陶瓷品、化学、医学、生物、冶金、地质学等。
检测项目
表面微观形貌、表面粗糙度、表面微区成分、表面组织结构、表面相结构、表面镀层结构及成分、结晶度、定性分析、物质晶系、晶胞参数、各物质定量分析等相关参数。
分析项目
晶体结构分析、物相定性分析、物相定量分析、晶粒大小分析、非晶态机构分析、结晶度分析、宏观应力分析、微观应力分析、择优取向分析等。